微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）是将微电子技术与精密机械技术深度融合的前沿工程技术。它通过在硅基或其他半导体材料上集成微型传感器、执行器及机械结构，实现了传统宏观机械系统难以企及的微型化、智能化和高精度特性。
在自动识别技术领域，MEMS技术的应用尤为广泛。例如，MEMS加速度计和陀螺仪已成为智能手机、无人机和自动驾驶系统中姿态识别与运动追踪的核心组件。这些微型传感器能够实时捕捉设备的加速度和角速度变化，为自动识别系统提供精确的物理运动数据。
MEMS麦克风通过其高灵敏度和小型化优势，在语音识别和声纹识别系统中发挥着关键作用。在光学识别方面，MEMS微镜阵列被用于激光雷达（LiDAR）和光谱分析仪，实现对物体形状、距离和化学成分的非接触式自动识别。
MEMS技术的持续创新正推动自动识别技术向更高精度、更低功耗和更小体积方向发展。随着5G通信、物联网和人工智能的普及，MEMS与自动识别技术的结合将在智能医疗、工业自动化、环境监测等领域展现出更广阔的应用前景。
